லித்தோகிராஃபி மெஷின் மாஸ்க் சீரமைப்பு புகைப்படம்-சேமிப்பு இயந்திரம்

விவரக்குறிப்பு

1. வெளிப்பாடு பகுதி: 110 மிமீ × 110 மிமீ
2. ★ வெளிப்பாடு அலைநீளம்: 365nm;
3. தீர்மானம்: ≤ 1 மீ;
4. சீரமைப்பு துல்லியம்: 0.8 மீ;
5. சீரமைப்பு அமைப்பின் ஸ்கேனிங் அட்டவணையின் இயக்க வரம்பு குறைந்தபட்சம் சந்திக்க வேண்டும்: y: 10 மிமீ;
6. சீரமைப்பு அமைப்பின் இடது மற்றும் வலது ஒளி குழாய்கள் x, y மற்றும் z திசைகளில் தனித்தனியாக நகரலாம், x திசை: mm 5 மிமீ, ஒய் திசை: mm 5 மிமீ மற்றும் இசட் திசை: mm 5 மிமீ;
7. முகமூடி அளவு: 2.5 அங்குலங்கள், 3 அங்குலங்கள், 4 அங்குலங்கள், 5 அங்குலங்கள்;
8. மாதிரி அளவு: துண்டு, 2 ", 3", 4 ";
9. மாதிரி தடிமன் பொருத்தமானது: 0.5-6 மிமீ, மற்றும் 20 மிமீ மாதிரி துண்டுகளை அதிகபட்சமாக ஆதரிக்க முடியும் (தனிப்பயனாக்கப்பட்டது);
10. வெளிப்பாடு பயன்முறை: நேரம் (கவுண்டவுன் பயன்முறை);
11. விளக்குகளின் சீரான தன்மை: ＜ 2.5%;
12. இரட்டை புலம் சிசிடி சீரமைப்பு நுண்ணோக்கி: ஜூம் லென்ஸ் (1-5 முறை) + நுண்ணோக்கி புறநிலை லென்ஸ்;
13. மாதிரியுடன் தொடர்புடைய முகமூடியின் இயக்க பக்கவாதம் குறைந்தபட்சம் சந்திக்கும்: x: 5 மிமீ; ஒய்: 5 மிமீ; : 6º
14. ★ வெளிப்பாடு ஆற்றல் அடர்த்தி:> 30 மெகாவாட் / செ.மீ 2,
15. the சீரமைப்பு நிலை மற்றும் வெளிப்பாடு நிலை இரண்டு நிலையங்களில் வேலை செய்கிறது, மேலும் இரண்டு நிலைய சர்வோ மோட்டார் தானாக சுவிட்சுகள்;
16. தொடர்பு அழுத்தத்தை சமன் செய்வது சென்சார் மூலம் மீண்டும் மீண்டும் தன்மையை உறுதி செய்கிறது;
17. the சீரமைப்பு இடைவெளி மற்றும் வெளிப்பாடு இடைவெளியை டிஜிட்டல் முறையில் அமைக்கலாம்;
18. ★ இது நானோ முத்திரை இடைமுகம் மற்றும் அருகாமையில் இடைமுகத்தைக் கொண்டுள்ளது;
19. ★ தொடுதிரை செயல்பாடு;
20. ஒட்டுமொத்த பரிமாணம்: சுமார் 1400 மிமீ (நீளம்) 900 மிமீ (அகலம்) 1500 மிமீ (உயரம்).