லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் முகமூடி அலைனர் புகைப்பட-எட்சிங் இயந்திரம்

விவரக்குறிப்பு

1. வெளிப்பாடு பகுதி: 110மிமீ × 110மிமீ;
2. ★ வெளிப்பாடு அலைநீளம்: 365nm;
3. தெளிவுத்திறன்: ≤ 1மீ;
4. சீரமைப்பு துல்லியம்: 0.8மீ;
5. சீரமைப்பு அமைப்பின் ஸ்கேனிங் அட்டவணையின் இயக்க வரம்பு குறைந்தபட்சம்: Y: 10mm; ஐ சந்திக்க வேண்டும்.
6. சீரமைப்பு அமைப்பின் இடது மற்றும் வலது ஒளி குழாய்கள் X, y மற்றும் Z திசைகளிலும், X திசையிலும்: ± 5mm, Y திசையிலும்: ± 5mm மற்றும் Z திசையிலும்: ± 5mm; தனித்தனியாக நகர முடியும்.
7. முகமூடி அளவு: 2.5 அங்குலம், 3 அங்குலம், 4 அங்குலம், 5 அங்குலம்;
8. மாதிரி அளவு: துண்டு, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ மாதிரி தடிமன் 0.5-6 மிமீக்கு ஏற்றது, மேலும் அதிகபட்சம் 20 மிமீ மாதிரி துண்டுகளை ஆதரிக்க முடியும் (தனிப்பயனாக்கப்பட்டது);
10. வெளிப்பாடு முறை: நேரம் (கவுண்டவுன் முறை);
11. சீரான வெளிச்சமின்மை: ＜ 2.5%;
12. இரட்டை புல CCD சீரமைப்பு நுண்ணோக்கி: ஜூம் லென்ஸ் (1-5 முறை) + நுண்ணோக்கி புறநிலை லென்ஸ்;
13. மாதிரியுடன் தொடர்புடைய முகமூடியின் இயக்க வீச்சு குறைந்தபட்சம்: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º; ஐ சந்திக்க வேண்டும்.
14. ★ வெளிப்பாடு ஆற்றல் அடர்த்தி: > 30MW / செ.மீ2,
15. ★ சீரமைப்பு நிலை மற்றும் வெளிப்பாடு நிலை இரண்டு நிலையங்களில் வேலை செய்கிறது, மேலும் இரண்டு நிலைய சர்வோ மோட்டார் தானாகவே மாறுகிறது;
16. தொடர்பு அழுத்தத்தை சமன் செய்வது சென்சார் மூலம் மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மையை உறுதி செய்கிறது;
17. ★ சீரமைப்பு இடைவெளி மற்றும் வெளிப்பாடு இடைவெளியை டிஜிட்டல் முறையில் அமைக்கலாம்;
18. ★ இது நானோ இம்ப்ரிண்ட் இடைமுகம் மற்றும் அருகாமை இடைமுகத்தைக் கொண்டுள்ளது;
19. ★ தொடுதிரை செயல்பாடு;
20. ஒட்டுமொத்த பரிமாணம்: சுமார் 1400மிமீ (நீளம்) 900மிமீ (அகலம்) 1500மிமீ (உயரம்).