லித்தோகிராபி இயந்திரம், மாஸ்க் அலைனர், போட்டோ-எட்சிங் இயந்திரம்

விவரக்குறிப்பு

1. வெளிப்படும் பகுதி: 110மிமீ × 110மிமீ;
2. ★ ஒளிக்கதிர் அலைநீளம்: 365 நானோமீட்டர்;
3. தெளிவுத்திறன்: ≤ 1 மீ;
4. சீரமைப்புத் துல்லியம்: 0.8 மீ;
5. சீரமைப்பு அமைப்பின் ஸ்கேனிங் மேசையின் இயக்க வரம்பு குறைந்தபட்சம் பின்வரும் அளவைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்: Y: 10மிமீ;
6. சீரமைப்பு அமைப்பின் இடது மற்றும் வலது ஒளிக்குழாய்கள் X, y மற்றும் Z திசைகளில் தனித்தனியாக நகரக்கூடியவை, X திசை: ± 5மிமீ, Y திசை: ± 5மிமீ மற்றும் Z திசை: ± 5மிமீ;
7. முகக்கவச அளவு: 2.5 அங்குலம், 3 அங்குலம், 4 அங்குலம், 5 அங்குலம்;
8. மாதிரி அளவு: துண்டு, 2", 3", 4";
9. ★ மாதிரியின் தடிமனுக்கு ஏற்றது: 0.5-6 மிமீ, மற்றும் அதிகபட்சமாக 20 மிமீ மாதிரித் துண்டுகளை ஆதரிக்க முடியும் (தனிப்பயனாக்கப்பட்டது);
10. ஒளிர்வு முறை: நேரக்கணிப்பு (கவுண்ட்டவுன் முறை);
11. ஒளியமைப்பின் சீரற்ற தன்மை: ＜ 2.5%;
12. இரட்டைப் புல CCD சீரமைப்பு நுண்ணோக்கி: உருப்பெருக்கி (1-5 மடங்கு) + நுண்ணோக்கிப் புறவில்லை;
13. மாதிரியைப் பொறுத்து முகமூடியின் இயக்க வீச்சு குறைந்தபட்சம் பின்வரும் அளவுகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்: X: 5மிமீ; Y: 5மிமீ; : 6º;
14. ★ வெளிப்பாட்டு ஆற்றல் அடர்த்தி: > 30MW / cm2,
15. ★ சீரமைப்பு நிலை மற்றும் ஒளி வெளிப்பாட்டு நிலை ஆகியவை இரண்டு நிலையங்களில் செயல்படுகின்றன, மேலும் இரண்டு நிலைய செர்வோ மோட்டார் தானாகவே நிலைமாறுகிறது;
16. சமப்படுத்தும் தொடர்பு அழுத்தம், சென்சார் மூலம் மீண்டும் மீண்டும் ஒரே மாதிரியான முடிவுகளைப் பெறுவதை உறுதி செய்கிறது;
17. ★ சீரமைப்பு இடைவெளி மற்றும் ஒளி வெளிப்பாட்டு இடைவெளி ஆகியவற்றை எண்ணிம முறையில் அமைக்கலாம்;
18. ★ இது நானோ அச்சு இடைமுகம் மற்றும் அருகாமை இடைமுகத்தைக் கொண்டுள்ளது;
19. ★ தொடுதிரை செயல்பாடு;
20. ஒட்டுமொத்த பரிமாணம்: சுமார் 1400 மிமீ (நீளம்) 900 மிமீ (அகலம்) 1500 மிமீ (உயரம்).